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真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时，应该选各种无油泵，如：水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格，可以选择有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、挡油阱等，也能达到清洁真空要求。

了解被抽气体成分，气体中含不含可凝蒸气，有无颗粒灰尘，有无腐蚀性等。选择真空泵时，需要知道气体成分，针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体，应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备，如冷凝器、除尘器等。

真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何。如果环境不允许有污染，可以选无油真空泵，或者把油蒸气排到室外。

真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。若工艺过程不允许，应选择无振动的泵或者采取防振动措施。

真空泵的负荷会以等比级数增加

冷凝器是真空排气系统中一个很重要的组成部分，它的作用是将混合气体中的可凝性蒸汽部分凝结排除，以减少下一级泵的负荷。一般性而言，单级真空泵的压缩比有一定的限度，所以生产实践中都使用两级以上的真空系统，真空系统采用的是四级泵形式。从前级真空泵中喷出的混合气体中，包括被抽的气体和工作蒸汽，因此后级真空泵的负荷会以等比级数增加，蒸汽耗量也会相应的按比例增加。在单级泵中，由于选用的结构形式和参数不同，泵的极限压力和用途也不同。为了防止蒸汽耗量的增加，当某一级的真空泵的排出压强比此时冷却水的饱和水蒸汽压强高时，排出混合气体与冷凝水接触，其混合气体中蒸汽大部分会被冷凝后排出。这样就能显著地减轻下一级真空泵的负荷，大大减少蒸汽的耗量。冷凝器的结构：冷凝器的结构形式基于冷却机理的不同，冷凝器的结构形式主要分为：混合式冷凝器和表面列管间冷式冷凝器，混合式冷凝器又分为强制喷淋式、分水盘式和隔板式，如由于受到冷凝水温的限制 ，在第三级喷射器之前不宜设置冷凝器，除非用低温水，同时设备费和维护费都比其它两种低。为了达到钢水精炼时工艺对真空度的要求，冷凝器的进水管采用上下两路，有上下两个喷淋头装置，根据真空系统冷凝水全流和减流两种方式进行工作。为了使蒸汽能够充分的与冷凝水接触，在冷凝水管的出口处，装有冷凝水喷淋头装置，该装置用三层伞状不锈钢弧板组成。冷凝器前冷凝器被置于真空排气系统***前列，在蒸汽泵的被抽气体中包含较多的可凝缩性气体，而且其温度比气压式冷凝器的冷却水温度还高，为了减轻泵的负荷而采用的一种冷凝器。所以被抽气体几乎是不凝缩性气体或者其温度比冷却水温度还低时，就不用前冷凝器。

真空泵和电动机的安装

真空泵和压缩机在安装前，用手转动联轴器，保证真空泵内没有卡住和其它损坏现象。真空泵的意外出错会引起机器的使用效率降低，影响到晶圆的生产和交货期，甚至造成所加工晶圆的报废和机器其他部件的损坏。整套设备运抵安装地点时，若包装已损坏或受潮，以及真空泵已经出厂八个月以上时，应在安装真空泵前全部拆开检查。若真空泵或压缩机正常，将真空泵和电动机安装在泵座上时，应校正电动机轴与泵轴的同心度，因为真空电动机轴与泵轴之间有***的倾斜也会引起轴承发热和零件的严重磨损。校正方法如下：将直尺平行放在联轴器上，在整个圆周的任何位置直尺应与联轴器圆周完全密合，没有间隙，并且联轴器的轴向间隙相等时，则达到了所要求的同心度。

电动机与泵轴，即使有***的倾斜，也会引起轴承发热和零件过早磨损等严重后果，若安装正确，用后即能轻松地转动泵轴。在真空泵的进气口应安装过滤装置，以防***进入泵腔内。